磁控溅射技术

磁控溅射技术溅射技术电弧海阴极蒸发技术气相沉积PVD 是物理气相沉积的缩写，PVD是在真空状态下材料蒸发沉积的技术，真空腔室是必备的条件，以避免蒸发出的材料和空气反应，PVD涂层用来制备新的、具有额外价值和特点的产品，如绚丽的色彩、耐磨损能力和降低摩擦。利用物理气相沉积 (PVD) 工艺，通过冷凝大部分金属材料并与气体结合，如氮，形成涂层。 基体材料是从固态转化为气态，并如在电弧工艺中一样被接受到的热能电离，或者如在溅射工艺中一样由动能电离。

子渗氨相沉积物理气相沉积（Physical Vapor Deposition），通过物理手段将固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子(等离子体)，在真空空间输运到基体表面并沉积成薄膜的方法，PVD镀膜技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空磁控溅射镀膜和真空离子镀膜。